Un autre est la méthode de phase Gas -, la méthode de dépôt de vapeur chimique (CAV), également connu sous le nom de méthode de pyrolyse, méthode sèche ou méthode de combustion. Ses matières premières sont généralement du tétrachlorure de silicium, de l'oxygène (ou de l'air) et de l'hydrogène, qui réagissent à des températures élevées.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 HCl. L'air et l'hydrogène sont respectivement soumis à la pressurisation, à la séparation, au refroidissement et à la déshydratation, au séchage du gel de silice, à l'élimination de la poussière et à la filtration avant d'être envoyés dans le four à hydrolyse synthétique. Une fois que la matière première du tétrachlorure de silicium a été envoyée à la colonne de distillation pour la distillation, elle est chauffée et évaporée dans l'évaporateur, puis envoyée à la fournaise d'hydrolyse synthétique avec de l'air sec et filtré comme support. Le tétrachlorure de silicium est vaporisé à des températures élevées (température de flamme 1000 - 1800 degrés) puis subit l'hydrolyse de phase de gaz - avec une certaine quantité d'hydrogène et d'oxygène (ou d'air) à environ 1800 degrés. À ce stade, les particules de silice en phase gazeuse générées sont extrêmement fines et forment des aérosols avec des gaz, difficiles à capturer.
Par conséquent, ils sont d'abord agrégés en particules plus grandes dans un agrégateur, puis collectées par un séparateur de cyclone, et envoyées à une fournaise de désactidification. La silice à phase de gaz - est lavée avec de l'air contenant de l'azote - jusqu'à ce que la valeur de pH soit de 4 à 6, qui est le produit fini