Le vieillissement thermique du caoutchouc de silicone se produit principalement par l'oxydation des chaînes latérales et la rupture des liaisons de siloxane dans la chaîne principale. Ainsi, dans un aspect, la résistance à la chaleur du caoutchouc de silicone dépend de ses chaînes latérales.
D'un autre côté, la rupture de la chaîne principale peut également être appelée résistance à la chaleur d'étanchéité, ce qui est différent du vieillissement d'oxydation. Il est lié à la flexibilité de la chaîne principale et à la présence de groupes finaux. De plus, la présence d'eau, d'acides, de bases, etc. a un effet de promotion significatif sur la rupture de la chaîne.